Kemunculan dan perkembangan pesat intensiti ultra tinggi, laser nadi ultrashort telah menyediakan keadaan fizikal melampau yang tidak pernah berlaku sebelum ini dan kaedah eksperimen yang serba baharu untuk manusia, dan telah menjadi sempadan terkini sains dan teknologi laser antarabangsa serta kawasan tumpuan persaingan . Kisi mampatan nadi ialah komponen teras dalam peranti laser ultra-pendek intensiti ultra tinggi, dan apertur parut menentukan had atas kuasa output laser. Pembangunan domestik dan asing bagi pendedahan pengimbasan rasuk halus, pendedahan penghantaran medan gangguan statik, penyambungan pendedahan dan scribing mekanikal dan kaedah lain, tidak mempunyai keupayaan penyediaan parut skala meter dua arah.
Rajah 1 Keputusan ralat frekuensi penuh sistem pendedahan cermin parabola luar paksi Φ300mm: (a) Ralat bentuk permukaan frekuensi rendah cermin luar paksi diukur dengan 4-inci interferometer Zygo. (b) Gambar ralat frekuensi pertengahan dan pengagihan medan cahaya yang diperoleh selepas penapisan mengikut model; (c) Ralat frekuensi tinggi yang diperoleh dengan menggunakan pemprofil cahaya putih Zygo dengan kanta 20x dan gambar topeng parut yang diukur dengan mikroskop. (d) lengkung ketumpatan spektrum kuasa 1D.
Institut Jentera Optik Shanghai (SIOM) telah mencadangkan satu skim inovatif untuk membuat grating mampatan berdenyut skala meter menggunakan sistem pendedahan reflektif luar paksi berdiameter besar. Teras program adalah menggunakan cermin parabola luar paksi berketepatan tinggi untuk membentuk dua pancaran cahaya selari untuk membina medan cahaya pendedahan seragam pada skala besar, dan keseragaman medan cahaya terutamanya ditentukan oleh ralat permukaan off. -cermin parabola paksi, terutamanya dalam ralat frekuensi tengah dan tinggi. Disebabkan kekurangan sistem penilaian kuantitatif ralat pembuatan pada keseragaman medan cahaya dan proses pemesinan berketepatan tinggi yang berkaitan dengan penumpuan ralat yang konsisten merentasi julat frekuensi, masih tiada preseden yang berjaya.
Berdasarkan teori pembelauan medan cahaya bebas, pasukan telah mewujudkan model pemetaan antara ralat jalur frekuensi pada permukaan cermin parabola luar paksi terdedah pantulan dan kehomogenan medan cahaya pendedahan, mewujudkan sistem indeks kuantitatif untuk frekuensi ralat jalur bentuk permukaan cermin, dan kemudian mengemukakan teknologi pemprosesan yang inovatif untuk penumpuan sebulat suara ralat jalur frekuensi penuh cermin pendedahan. Menurut sistem penilaian indeks yang ditentukan oleh model, ralat frekuensi sederhana dan tinggi bagi cermin dedahan seharusnya lebih baik daripada 0.65 nm dan 0.5 nm, dan oleh itu, sistem pendedahan reflektif luar paksi Φ300 mm telah direka dengan menggunakan teknologi pemprosesan di atas. Dalam sistem ini, RMS cermin telah ditindas kepada 0.586 nm dan 0.462 nm, dan ralat berkala dan ralat jalur biasa telah dihapuskan sepenuhnya. Akhirnya, kisi difraksi filem dielektrik berbilang lapisan (MLD) dengan saiz 200 mm × 150 mm berjaya dibuat menggunakan sistem pendedahan ini, dengan kecekapan pembelauan purata 98.1% pada tahap -1 dan PV hadapan gelombang pembelauan yang lebih baik. daripada 0.3 panjang gelombang.
Penyelidikan untuk pembuatan parut pembelauan apertur besar ini menyediakan cara baharu untuk pembangunan seterusnya peranti laser berkuasa tinggi 100 pat-watt yang diperlukan untuk parut mampatan nadi peringkat meter untuk meletakkan asas teknikal.
Rajah 2 Hadapan gelombang pembelauan dan taburan kecekapan parut MLD 200mm×150mm: (a) muka gelombang pembelauan tahap -1. (b) 0-muka gelombang pembelauan aras. (c) +1-muka gelombang pembelauan aras. (d) Kecekapan pembelauan parut MLD pada 1740 l/mm, dengan kecekapan pembelauan seragam dalam apertur berkesan pada 1053 nm (Ave=98.1%, σ=0.3%, Maks {{ 12}}.6%). (e) Imej fizikal parut MLD menggunakan kaedah pendedahan pantulan.
